c将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具_双螺杆喂料机,失重式喂料机,计量喂料机-无锡市敏海通用设备有限公司

c将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具

2020-12-09 12:19

　　磨具，其该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装导环以及一载具膜，用激光预先加工所述载具膜上与该抽气孔对应数个孔洞；

　　(b)当该化学机械离心研磨机需预防保养时，失重式喂料机双螺杆喂料机 双螺杆喂料机将该研磨载具从该研磨主轴上拆下；

　　(c)将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具膜后，失重式喂料机对该研磨载具进行清洁处理；

　　(d)将新载具膜与对孔板对准，双螺杆喂料机其该对孔板上具有与该抽气孔对应数个销孔，且每一销孔上设有一固定销，当该载具膜与该对孔板对准时，失重式喂料机每一固定销穿过该孔洞；

　　(e)将该载具膜与该对孔板一起放置该研磨载具上，使每一固定销依序穿过对应孔洞、抽气孔；
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