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变成报废铜盘1附图1f然后进行脱脂处理机
2020-09-11 21:04

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  1 梁红兵;铜互连工艺为半导体制造业带来新增长机会[N];中国电子报;2004年

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  如图1(a)所示为现有技术中带有凹槽的铜盘研磨盘,双螺杆喂料机在使用过程中铜盘不断被消耗,然后不断在其表面上蚀刻凹槽,如(b)-(f)所述的反复消耗-蚀刻过程,直至达到使用极限,变成报废铜盘1(附图1(f));然后进行脱脂处理、机械喷砂拉毛处理、电解脱脂处理、超声波脱脂处理、酸喷淋活化处理形成表面处理层2(附图1(g)),然后在表面处理层上通过化学镀,化成沉积镍层3(附图1(h)),接着在化学镀镍层3上继续电镀铜层4(附图1(k)),后在铜层上刻蚀凹槽,终实现报废铜盘研磨盘的重复利用。
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